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【產品分類】：特種氣體

【產品名稱】：四氟化碳

【熔點】：-184℃

【沸點】：-128.1℃

【水溶性】：不溶于水

服務熱線

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產品詳情

【外觀與形狀】：無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體。
【主要用途】：

1.用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體，用于低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。

2.是微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，四氟甲烷高純氣及四氟甲烷高純氣、高純氧的混合氣，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池生產、激光技術、低溫制冷、泄漏檢驗、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。

3.用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術。

昕源優勢

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配備專職售后人員，7*24小時響應

提供調試、維護、培訓等售后服務，保障用氣安全

【本文標簽】：四氟化碳

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